ВЕНТИЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК МЫШЬЯКА
(НОВОГО ТИПА)


ВЕНТИЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК МЫШЬЯКА

Область применения:
От роста мышьяксодержащих соединений АШВV до легирования при росте соединений АПВVI и Si/Ge в методе молекулярно-лучевой эпитаксии.

Преимущества:

  • Обеспечивает плотность потока молекул As2 (или As4) в зоне роста от 1х1012 до 1х1017 молек./см2с.;
  • Обеспечивает существенную экономию шихтового мышьяка и минимизирует загрязнение мышьяком зоны роста;
  • Механическое регулирование плотности потока мышьяка с помощью вентиля (электрический или ручной привод);
  • Обеспечивает высокую стабильность потока мышьяка;
  • Идеален для роста соединенй АШВV с замещением по пятой группе (АШAsYP1-Y, АШAsYSb1-Y и др.)
Варианты исполнения для подсоединения к ростовым установкам различных типов (стыковочные фланцы по желанию заказчика).
Использование для загрузки как слитков, так и гранул мышьяка.

Варианты исполнения с резервуарами для мышьяка емкостью от 100 г (для легирования) до 2 кг (мышьяксодержащих соединений АШВV).

  
   
    

  Адрес: ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ СО РАН
РОССИЯ, 630090, Новосибирск, пр.Лаврентьева, 13,
тел./факс (383) 333-35-02, тел. 333-32-86,
е-mail:pch@isp.nsc.ru