Область применения:
От роста мышьяксодержащих соединений АШВV до легирования при росте
соединений АПВVI и Si/Ge в методе молекулярно-лучевой эпитаксии.
Преимущества:
- Обеспечивает плотность потока молекул As2 (или As4)
в зоне роста от 1х1012 до 1х1017 молек./см2с.;
- Обеспечивает существенную экономию шихтового мышьяка и минимизирует загрязнение мышьяком зоны роста;
- Механическое регулирование плотности потока мышьяка с помощью вентиля (электрический или ручной привод);
- Обеспечивает высокую стабильность потока мышьяка;
- Идеален для роста соединенй АШВV с замещением по пятой группе
(АШAsYP1-Y, АШAsYSb1-Y и др.)
Варианты исполнения для подсоединения к ростовым установкам различных типов (стыковочные фланцы по желанию заказчика).
Использование для загрузки как слитков, так и гранул мышьяка.
Варианты исполнения с резервуарами для мышьяка емкостью от 100 г (для легирования) до 2 кг (мышьяксодержащих соединений АШВV).
|