Химический участок ЦКП создан для пробоподготовки образцов перед исследованиями или модификации образцов методами, используемыми в процессе предоставления Услуг ЦКП.

Химический участок включает в себя следующее оборудование:

1. Химический бокс с вытяжкой, электрической плиткой и подведенными трубами с деионизованной и дистилированной водой и сжатым очишенным воздухом.
2. Установка плазменной очистки поверхности от органических загрязнений и сушки образцов: Plazma-PREEN II-973, Plasmatic Systems Inc.
3. Установка для напыления металлов и углерода: Q150T ES, Quorum Technologies.
4. Ванна ультрозвуковая c нагревом и таймером.
5. Химический бокс с вытяжкой для нанесения фото- и электронного резиста.
6. Плитка электрическая программируемая для сушки образцов: Presition Hot Plate Mod. 1000-1, Electronic Micro Systems.
7. Шкаф сушильный: Venticell, BMT.
8. Центрифуга для нанесения электронного резиста: SPIN-150 v.3, SPS-Europe.
9. Холодильное оборудование для хранения хим. реактивов.

Местонахождение в ЦКП — Отделение нанолитографии и Отделение пробоподготовки, к. 108.

Год модернизации — 2010.

Балансовая стоимость — 2900 тыс. руб.

Нормативная стоимость часа работы с учетом амортизации — 1400 руб.

Нормативное (среднее) количество обработанных образцов в час — 1.