Система ионно-лучевой обработки IM150, Oxford Applied Research, UK

Система IM150 – высоковакуумная система, предназначена для ионного травления образцов. Система оборудована источником ионов RF 50 с диаметром пучка 50 мм, водоохлаждаемым держателем для образцов диаметром до 3 дюймов с возможность наклона образца на угол до 90 градусов к оси пучка ионов и возможностью вращения образца.
  1. Марка — IM150.

  2. Производитель/страна — Oxford Applied Research, UK .
  3. Технические характеристики:

     Ионный источник RF 50 предназначен для создания высокоэнергетичного ионного пучка для травления образца. Источник включает:

       генератор ионов, базирующийся на ВЧ разряде;

       систему экстракции ионов (вытягивающая сетка, ускоряющая сетка);

       систему нейтрализации (катод нейтрализатор);

       блок согласования разряда; ВЧ генератор-частотой 13,56 МГц;

       контроллер управления ионным источником. 

    Рабочая частота 13,56 МГц

    Водяное охлаждение 0,5 л/мин

    Рабочее давление < 5 ∙ 10−3 мбар

    Диаметр пучка на выходе 50 мм Материал сеток Инконель

    Максимальная RF мощность 500 Вт Материал разрядной камеры Кварц

    Максимальная энергия ионов 1 кэВ

    Настроенные газы 𝐴𝑟, 𝑂2

  4. Год модернизации — 2015.
  5. Балансовая стоимость — 5000 тыс. руб.