ФИОТысченко Ида Евгеньевна
ТемаФизические процессы при ионно-лучевом синтезе структур на основе кремния
ОписаниеДиссертация представлена на соискание ученой степени доктора физико-математических наук по специальности 01.04.10 "Физика полупроводников"
Автореферат
Текст диссертации
(размещён 19.05.2015)
Научный консультантДвуреченский Анатолий Васильевич - доктор физико-математических наук, профессор, член-корреспондент РАН, заместитель директора.
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) 630090, г. Новосибирск, пр. Академика Лаврентьева, 13 +7(383)3332466.
Отзыв
Оппоненты

Мордкович Виктор Наумович, доктор физико-математических наук, профессор, заведующий лабораторией радиационно-стимулированных процессов, Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН) 142432, Московская обл, Ногинский р-н, Черноголовка, Институтская ул, д. 6 +7 (495) 962-80-74, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра., www.iptm.ru, отзыв (размещён 18.09.2015)

Публикации Мордковича В.Н.:

  1. Scherbachev K., Voronova M., Bublik V., Mordkovich V., Pazhin D., Zinenko V., Agafonov Yu. Influence of Chemical Nature of Implanted Ions on the Structure of a Silicon Layer Damaged by Implantation. Crystal Reports, 2013, v.58, №7, p.p. 1030-1036
  2. Мордкович В.Н. Некоторые аспекты образования радиационных дефектов в кремнии при ионной имплантации // Электронная техника, сер. 3. Микроэлектроника, 2014, в. 1, с. 16-24.
  3. Бараночников М.Л., Леонов А.В., Мокрушин А.Д., Мордкович В.Н., Пажин Д.М. Особенности магниточувствительных сенсоров на основе полевого датчик Холла // Приборы и техника эксперимента, 2012, вып. 6, с. 1-8.
  4. Murachev V.N., Mordkovich V.N., Legotin S.A., Rabinovich O.I., Krasnov A.A. Peculiaritics of Betavoltaic Battery Based on Si // Journ. of Nano- and Electronic Physics, 2014, v.6, N. 4, p. 04012-1 – 04012-2.
  5. А.В. Леонов, А.А. Малых, В.Н. Мордкович, М.И. Павлюк. Автогенераторная схема преобразователя индукция – частота на основе полевого датчика Холла с регулируемой частотой // ПТЭ, 2015, №4, с. 29-34.
  6. Бараночников М.Л., Мордкович В.Н., Леонов А.В., Пажин Д.М., Павлюк М.И., Ануфриев В.Н., Богатырев В.Н., Дымов Д.В. Бесконтактный датчик тока с повышенной надежностью в экстремальных условиях эксплуатации // Электронная техника. Серия 2. Полупроводниковые приборы. – 2013. – Вып.1 (230). – С. 42-52.
  7. Бараночников М.Л., Леонов А.В., Малых А.А., Мордкович В.Н., Мурашев В.Н., Пажин Д.М. Датчики внешних воздействий с частотным выходом на основе полевого МДПДМ транзистора со встроенным каналом // Нано- и микросистемная техника. – 2013. – №10. – С.8-11.
  8. Громов Д.В., Мордкович В.Н., Пажин Д.М., Скоробогатов П. К. Релаксационные эффекты в полевых датчиках Холла при воздействии импульса ионизирующего облучения // Электронная техника. Серия 2 - Полупроводниковые приборы, 2011г., №1, c.19-26.
  9. Щербачев К.Д., Бублик В.Т., Мордкович В.Н., Пажин Д.М. Особенности образования радиационных дефектов в слое кремния структур «кремний на изоляторе // Физика и Техника Полупроводников, 2011г., т. 45, вып.6, c.754.
  10. Леонов А.В. Бараночников М.Л., Мокрушин А.Д., Мордкович В.Н., Омельяновская Н.М., Пажин Д.М. Особенности подвижности электронов в тонком слое монокристаллического кремния в структуре диэлектрик-кремний-диэлектрик // Международная конференция и Школа по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе, 2010г., стр.117.
  11. Мокрушин А.Д., Мордкович В.Н. Радиационная стойкость полевого датчика Холла // Сборник "Химическая и радиационная физика", серия "Космический вызов ХХI века", том 4, Москва: Торус Пресс, V4, 2010г., c.232.
  12. Baranochnikov M.L., Leonov A.V., Mordkovich V.N., Pazhin D.M., Filatov M.M. Some Features of Magnetometric and Sensor Devices Based on The Field Effect Hall Sensors // Proc. of Advanced Electromagnetics Symposium, 2012, p. 455 – 459.

Овчинников Владимир Владимирович, доктор физико-математических наук, профессор, заведующий лабораторией пучковых воздействий. Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт электрофизики Уральского отделения РАН 620016, Екатеринбург, ул. Амундсена, 106 +7 (343) 267-87-96, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра., www.iep.uran.ru, отзыв (размещён 18.09.2015)

Публикации Овчинникова В.В.:

  1. Овчинников В.В., Можаровский С.М, Гущина Н.В., Махинько Ф.Ф., Колобнев Н.И., Хохлатова Л.Б. Исследование возможности радиационного отжига сплава 1424 (Al-Li-Mg-Zn-Mn) пучками ускоренных ионов аргона // Известия вузов. Физика. 2014. Т. 57. № 3/3. С. 222-226.
  2. Medvedeva E.V., Tcherdyntsev V.V., Makhinko F.F., Gushchina N.V., Ovchinnikov V.V. Mechanical Alloying of Al73Cu11Cr16 Alloy from Ion Irradiated Powders // Acta Physica Polonica A. 2014. Vol. 126. № 4. P. 979-983.
  3. Овчинников В.В., Гущина Н. В., Кайгородова Л.И., Григорьев А.Н., Павленко А.В., Плохой В.В. Сравнительные эксперименты по ионной бомбардировке и механическому ударному нагружению сплавов системы Al-Cu-Mg // Известия вузов. Физика. 2014. Т. 57. № 10/3. С. 196-200.
  4. Овчинников В.В. Можаровский С.М., Гущина Н.В., Махинько Ф.Ф., Кайгородова Л.И. Колобнев Н.И., Хохлатова Л.Б. Радиационный отжиг сплава 1424 (Al-Mg-Li-Zn) непрерывными мощными пучками ускоренных ионов // Известия вузов. Физика. 2014. Т. 57. № 10/3. С. 206-211.
  5. Чердынцев В.В., Медведева Е.В., Махинько Ф.Ф., Гущина Н.В., Овчинников В.В., Александрова С.С. Влияние ионного облучения на процесс механоактивационного синтеза порошкового сплава Al73Cu11Cr16 // Физика и xимия обработки материалов. 2015. №2. С. 20-28.
  6. Чемеринская Л.С., Овчинников В.В., Сачков И.Н. Инициируемое ионным облучением упорядочение сплава FePd2Au // Известия вузов. Физика. 2013, т. 56, №1/2, с. 171-174.
  7. Овчинников В.В., Гущина Н.В., Можаровский С.М., Кайгородова Л.И. Исследование процессов формирования наноразмерных интерметаллидных фаз в сплаве 1441 системы Al-Li-Cu-Mg-Mn в ходе облучения пучками ускоренных ионов // Известия вузов. Физика. 2013, т. 56, №1/2, с. 163-166.
  8. Овчинников В.В., Гущина Н.В., Можаровский С.М., Кайгородова Л.И. Формирование наноразмерных интерметаллидных фаз в алюминиевом сплаве системы Al-Li-Cu-Mg-Mn при ионно-лучевой обработке // Наноматериалы и наноструктуры XXI век. 2013, т. 4, №2, с. 43-47.
  9. Овчинников В.В., Махинько Ф.Ф., Соломонов В.И., Гущина Н.В., Кайгородова О.А. Свечение поверхности металлических мишеней при облучении ионами Ar+ с энергией 5-20 кэВ. // ПЖТФ, 2012, т. 38, в.1, с. 86-94.
  10. Можаровский С.М., Овчинников В.В., Клепикова А.А., Гущина Н.В., Кайгородова Л.И. Исследование изменений структуры, фазового состава и механических свойств деформационного алюминиевого сплава 1960 при имплантации ионов Ar+ // Известия вузов. Физика. 2011, т. 54, №1/3, с. 101-106.
  11. Овчинников В.В., Овчинников С.В., Повзнер А.А. Определение флакса и лучеиспускательной способности металлических мишеней в условиях облучения мощными пучками ионов калориметрическим методом // Известия вузов. Физика. 2011, т. 54, №1/3, с. 126-130.
  12. Чемеринская Л.С., Овчинников В.В., Гущина Н.В., Айхорн Ф., Визер Э. Влияние ионного облучения (Ar+, Cu+) на структурные изменения в объеме сплавов Pd1-xCux // Известия вузов. Физика. 2011, т. 54, №1/3, с. 311-316.
  13. Гущина Н.В., Овчинников В.В., Мюклих А., Визер Э. Изучение процесса распада пересышенного твердого раствора в сплаве Al-4 мас.% Cu при низкодозном ионном облучении методом просвечивающей электронной микроскопии // Известия вузов. Физика. 2011, т. 54, №1/2, с. 204-209.
  14. Овчинников В.В., Семенкин В.А., Голобородский Б.Ю. Наблюдение эффекта Мессбауэра в чистом железе в ходе ионной бомбардировки // Известия вузов. Физика. 2011. Т. 54. № 1/3. С. 131-136.
  15. Ovchinnikov V.V., Remnev G.E., Gushchina N.V., Guselnikov V.I., Mozharovsky S.M., Filippov A.V., Kaigorodova L. I. Variations in Microstructure of Cold-Deformed Aluminum-Lithium Alloy 1441 Initiated Powerful Pulsed Ion Beams // Russian Journal of Non-Ferrous Metals. 2011. Vol. 52. № 3. P. 304-310.

Шаркеев Юрий Петрович, доктор физико-математических наук, профессор, заведующий лабораторией физики наноструктурных биокомпозитов. Институт физики прочности и материаловедения Сибирское отделение РАН, 634021, Томск, проспект Академический, 2/4 +7 (3822) 49-18-81, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра., www.ispms.ru, отзыв (размещён 18.09.2015)

Публикации Шаркеева Ю.П.:

  1. Sharkeev Y.P., Kukareko V.A., Zinchenko V.F., Eroshenko A.Y., Kuchina A.S. Increasing the cyclic life of submicrocrystalline and large-grain titanium in high-intensity ionic implantation. Steel in Translation. V. 40, Issue 8, 2010, P. 729-732.
  2. Вахний Т. В., Вершинин Г. А., Шаркеев Ю. П., Курзина И. А., Ерошенко А. Ю., Грекова Т. С., Гриценко Б. П. Роль размера зерен поликристаллического титана в формировании концентрационных профилей имплантируемых ионов алюминия // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2010. № 4. С.94-99.
  3. Курзинa И.А., Божко И.А., Шаркеев Ю.П. Влияние имплантации ионов алюминия на элементный состав и структурно-фазовое состояние поверхностных слоев титановых материалов // Известия Вузов. Физика. 2011. №11/3 Том 54. С.342-345.
  4. Вершинин Г.А., Шаркеев Ю.П., Геринг Г.И., Грекова Т.С., Божко И. А., Курзина И.А. Формирование концентрационных профилей имплантируемых ионов в титане и никеле в зависимости от структуры образцов и режимов облучения // Известия Вузов. Физика. –2011. – Т.54. – №1,2. – С.133-137.
  5. Шаркеев Ю.П., Курзина И.А., Божко И.А., Ерошенко А.Ю. Свойства и структура покрытий, получаемых ионной имплантацией алюминия в титановую подложку в различном структурном состоянии // Деформация и разрушение. 2011. №2. С.32-40.
  6. Курзина И. А., Попова Н. А., Никоненко Е. Л., Калашников М. П., Савкин К. П., Шаркеев Ю. П., Козлов Э. В. Формирование наноразмерных интерметаллидных фаз в условииях имплантации ионами алюминия титановых мишеней. Известия РАН. Серия физическая. 2012, том 76, №1, С.74–78.
  7. Г. А. Вершинин, T. C. Грекова, Г. И. Геринг, И. А. Курзина, Ю. П. Шаркеев. Анализ формирования конценрационных полей в титане при имплантации ионов алюминия через осаждаемую на поверхность мишени газо-металлическую пленку. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2012. - № 3. C.68–71.
  8. И.А. Курзина, Н.А. Попова, М.П. Калашников, А.Ю. Ерошенко, Е.Л. Никоненко, К.П. Савкин, Е.М. Окс, Ю.П. Шаркеев. Особенности структурно-фазового состояния поликристаллического титана, имплантированного алюминием. // Известия вузов. Физика. 2012.- Т.55. №5/2. C.185-191.
  9. Kurzina I.A., Kozlov E.V., Popova N.A., Kalashnikov M.P., Nikonenko E.L., Savkin K.P., Oks E.M., Sharkeev Y.P. Modifying the structural phase state of fine-grained titanium under conditions of ion irradiation. Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics.V. 76, Issue 11, 2012, P. 1238-1245.
  10. И.А. Курзина, Э.В. Козлов, Ю.П. Шаркеев. Градиентные поверхностные слои на основе интерметаллидных частиц: синтез, структура, свойства. – Томск: Изд-во «НТЛ», 2013. – 260 с.
  11. Ksenia Kulyashova, Yurii Sharkeev, Aizhan Sainova. Mechanical Properties of Calcium Phosphate Coatings Produced by Method of RF-Magnetron Sputtering on Bioinert Alloys. Advanced Materials Research. -2014. - V. 1013. - P. 188-193.
  12. Шаркеев Ю.П., Глухов И.А., Ерошенко А.Ю., Голковский М.Г., Примак О., Батаев В.А., Фортуна С.В. Формирование градиентных слоев сплавов системы Ti-Nb методом электронно-лучевой наплавки. Известия Вузов. Физика. Т.57. №10/3. С.307-311.
Ведущая организация

Салихов Кев Минуллинович - доктор физико-математических наук, профессор, академик РАН, академик АНТ, директор.
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского Казанского научного центра Российской академии наук (КФТИ КазНЦ РАН), 420029, г. Казань, ул. Сибирский тракт, 10/7. +7 (843) 272 05 03, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра., www.kfti.knc.ru, отзыв (размещён 18.09.2015)

Публикации ведущей организации:

  1. Novikov H.A., Batalov R.I.,Bayazitov R.M., Faizrakhmanov I.A., Ivlev G.D., Prokop’ev S.L. Optical diagnostics of the laser-induced phase transformations in thin germanium films on silicon, sapphire, and fused silica // Technical Physics. V.60 (2015) p. 406-412.
  2. Khalitov N.I., Valeev, V.F., Faizrakhmanov I.A., Maksutoglu M.,Mikailzade F.A. Structural, magnetic and magnetoelectric studies of BaTiO3:Co nanocomposite films formed by ion-beam methods // Nucl. Insdtrum. Meth. Phys. Res. B. v.331 (2014) p.163-167.
  3. Lyadov N.M., Gumarov A.I., Valeev V.F., Bazarov V.V., Faizrakhmanov I.A. Optical properties of ZnO and Al2O3 implanted with silver ions // Technical Physics. V.59 (2014) p. 692-695.
  4. Lyadov N.M., Gumarov A.I., Valeev V.F., Khaibullin R.I., Faizrakhmanov, I.A. Optical and electrical studies of ZnO thin films heavily implanted with silver ions // Journal of Physics: Conference Series. V. 572 (2014), p. 012022.
  5. Gumarov G.G., Nuzhdin, V.I., Petukhov V.Y.,Valeev V.F., Faizrakhmanov I.A. A high-temperature unit for the ion collector of the ИЛУ-3 accelerator // Instruments and Experimental Techniques. V.57 (2014), p. 646-649.
  6. Chirkov V.V., Gumarov G.G., Petukhov V.Y., Valeev V.F., Denisov A.E. Change in the sign of the Kerr effect in ion-beam-synthesized Fe3Si films // J. Surf. Inv.V. 8 (2014), p. 569-572.
  7. Alekseev A.V., Gumarov G.G., Konovalov D.A., Petukhov V.Y., Nuzhdin, V.I. Uniaxial magnetic anisotropy of iron-silicide thin films ion synthesized in an external magnetic field // J. Surf. Inv.V. 10 (2014), p. 1124-1127.
  8. Batalov R.I., Bayazitov R.M., Novikov H.A., Faizrakhmanov I.A., Ivlev G.D., Prakopyeu S.L. Pulsed laser ion beam treatment of Ge/Si and Ge/Al2O3 thin film structures // Proceedings of the International Conference on Advanced Optoelectronics and Lasers, CAOL. V. 6657630 (2013), p. 342-343.
  9. Khalitov N.I., Lyadov N.M., Valeev V.F., Khaibullin R.I., Faizrakhmanov I.A., Dulov E.N., Tagirov L.R., Ibragimov S.Z., Prikhodko K.E., Roddatis V.V., Maksutoglu M., Kazan S., Mikailzade F.A. Ion beam synthesis and investigation of nanocomposite multiferroics based on barium titanate with 3d metal nanoparticles // Phys. Solid State.V. 55 (2013), p. 1279-1288.
  10. Galkin K.N., Batalov R.I., Bayazitov R.M., Novikov H.A., Shustov V.A., Bizyaev D.A., Gaiduk P.I., Ivlev G.D., Prokopyev S.L. Structural and optical properties of magnetron sputtered and pulsed beam annealed Ge/Si layers // Phys. Stat. Sol. (C). V. 10 (2013), p. 1824-1827.
  11. Goroshko D., Chusovitin E., Shevlyagin A., Bozhenko M., Batalov R., Bayazitov R., Galkin N. Enhancement of near IR sensitivity of silicon-silicide based photodetectors // Phys. Stat. Sol. (C). V. 10 (2013), p. 1844-1846.
  12. Галкин Н.Г., Ваванова С.В., Галкин К.Н., Баталов Р.И., Баязитов Р.М., Нуждин В.И.: Наносекундный импульсный отжиг кремния, имплантированного ионами магния. // ЖТФ 83, вып.1, 99-104 (2013).
  13. Gumarov G.G., Konovalov D.A., Alekseev A.V., Petukhov V.Y., Zhikharev V.A., Nuzhdin V.I., Shustov, V.A. Scanning MOKE investigation of ion-beam-synthesized silicide films // Nucl. Insdtrum. Meth. Phys. Res. B. v.282 (2012) p.92-95.
  14. Gumarov G.G., Petukhov V.Y., Gumarov A.I., Khalikov R.A., Konovalov D.A., Valeev V.F., Khaibullin R.I. MOKE investigation of silicide films ion-beam synthesized in single-crystal silicon // Nucl. Insdtrum. Meth. Phys. Res. B. v.272 (2012) p.108-111.
  15. Баталов Р.И., Баязитов Р.М., Нуждин В.И., Гайдук П.И., Прокопьев С.Л., Ивлев Г.Д.: Особенности импульсного отжига слоёв кремния, имплантированных ионами германия. // Изв. ВУЗов. Физика 54, № 1/2, 59-65 (2011).
  16. Баязитов Р.М., Баталов Р.И., Нурутдинов Р.М.: Импульсный синтез соединений для кремниевой оптоэлектроники. // Изв. ВУЗов. Физика 54, № 1/2, 66-73 (2011).
Заключение комиссии
Решение о приёме диссертации к защите
Объявление о защите диссертации
Отзывы на автореферат
Итоги защитыЗаключение диссертационного совета:
Видео

Добавить комментарий

Защитный код
Обновить