Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИМ. А.В. РЖАНОВА
Сибирского отделения Российской академии наук
Лаборатория нанодиагностики и нанолитографии

заведующий лабораторией
Латышев Александр Васильевич
Директор ИФП СО РАН
академик РАН, д.ф.-м.н., профессор

тел. (383) 333-10-80
факс (383) 333-10-80


E-mail:

Лаборатория располагается в здании термостатированного корпуса ИФП СО РАН по адресу:
г.Новосибирск, ул.Пирогова, 30

ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Основными направлениями деятельности лаборатории являются:

  • Исследование атомных процессов на поверхности и в объеме кристаллов при формировании наноразмерных структур на основе методов in situ.
  • Исследование атомного строения наноструктур с помощью высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии с коррекцией сферической аберрации, включая моделирование и расчет электронно-микроскопических изображений.
  • Развитие методов наноструктурирования поверхности с помощью электронной, ионной- и зондовой литографии для изготовления твердотельных наносистем из полупроводниковых, металлических и органических материалов.
  • Разработка и создание элементов наноэлектроники, наноплазмоники, наномеханики и бионаноплатформ.
  • Развитие методов измерения и диагностики наносистем в нанометровом и субнанометровом диапазоне.
  • Экспериментальное и теоретическое изучение электронных и оптических свойств наносистем.

В состав лаборатории входит 33 сотрудника, из них: 19 научных сотрудников (4 д.ф.-м.н. и 10 к.ф.-м.н., 1 к.т.н.), в том числе 2 академика РАН, 14 человек инженерно-технического персонала и 2 аспиранта.

Проведение исследований базируется на использовании комплекса методов, которые включают электронную нанолитографию, сверхвысоковакуумную отражательную электронную микроскопию (СВВ-ОЭМ), просвечивающую и высокоразрешающую аналитическую электронную микроскопию (ПЭМ, ВРЭМ), а также атомно-силовую микроскопию (АСМ). По многим направлениям, в частности, по применению in situ методов электронной микроскопии высокого разрешения и исследованию атомных процессов на поверхности кремния методами отражательной и атомно-силовой микроскопии, работы коллектива лаборатории находятся на мировом уровне исследований. Исследования проводятся на оборудовании, отвечающем уровню оснащения ведущих мировых научных центров в области структурного анализа и технологии получения наноструктур.