Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИМ. А.В. РЖАНОВА
Сибирского отделения Российской академии наук
НОВОСТИ
10.05.12
Приборные разработки Института за 2011 год

ИК ФПУ на основе неохлаждаемых матричныхмикроболометрических приемников
Лаборатория кинетических явлений в полупроводниках
Аналитический комплекс для характеризации свойств поверхности твердого тела методом полной эллипсометрии ЭЛЛИПС-АМ
Лаборатория эллипсометрии полупроводниковых материалов и структур
Комплекты высокоточных мер вертикальных размеров в диапазоне 0,31 - 31 нм
Лаборатория нанодиагностики и нанолитографии

Подробнее в разделе "РАЗРАБОТКИ"