Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИМ. А.В. РЖАНОВА
Сибирского отделения Российской академии наук
НОВОСТИ
03.12.12
В память о Л.С.Смирнове

Смирнов Леонид Степанович - доктор физико-математических наук, профессор, заслуженный деятель науки и техники России, лауреат Государственной Премии СССР.

1. Детство, отрочество, юность

Леонид Степанович Смирнов родился 17 января 1932 года в многодетной семье в старинном уральском селе Хомутинино Челябинской области, история которого насчитывает уже 265 лет. О своей семье Леонид Степанович пишет в воспоминаниях так: «Из старших мне больше всего запомнился мой дед - Павел Васильевич, учитель, самым удивительный и интеллигентный человек из всех, кого я знал за свои 68 лет... И его брат -Андрей Васильевич, фельдшер, во многом похожий на Павла Васильевича». Родители Леонида Степановича, Клавдия Павловна Смирнова (Вараксина) и Степан Николаевич Смирнов, - коренные хомутининцы. Отец в 1941 году ушел на фронт добровольцем, а в 1943 году после контузии и ампутации ноги вернулся в родное село. Сам Леонид Степанович о войне вспоминает так: «Первые дни небо гудит от самолетов, идущих с востока. Постоянные тревога, звук горнов, знакомые «дяди» в военной форме. Добровольцы...». В книге памяти села Хомутинино - 8 человек Варакcиных, родственников Л.С. Смирнова, погибших на войне.

Семья Смирновых-Вараксиных была большая и дружная. Связь Л.С. Смирнова с родным селом была потрясающей, она не прерывалась всю жизнь. Здесь было начало всему: увлечениям охотой, рыбалкой, поэзией, живописью и, конечно, спортом. Вот что об этом пишет сам Леонид Степанович: «У нас была семейная команда, сильная коллективизмом. Обычно мы играли против всех. В официальных ситуациях составляли сборную». В школе Леонид Степанович был председателем учкома, был призером областной олимпиады по плаванию.

Будущий профессор Смирнов Леонид Степанович Л. Смирнов с отцом Степаном Николаевичем
Дед Л.С. Смирнова Вараксин Павел Васильевич Л.С. Смирнов
Л.С. Смирнов

После окончания школы, в 1949 году, Л.С. Смирнов поступил в Свердловский государственный университет, из которого, по окончании 3 курса в 1952 г., был переведен на физический факультет Ленинградского государственного университета. Его сокурсницей была Людмила Вячеславовна Лежейко, которая позже, в 1966 году, стала сотрудницей организованной им в Новосибирске лаборатории радиационной физики. Другая сокурсница Л.С. Смирнова, Озод Рахимовна Ниязова, доктор физико-математических наук, профессор, лауреат Государственной Премии СССР, в течение многих лет поддерживала с ним самые тесные связи и была постоянным участником организованных им и знаменитым на весь СССР мартовских семинаров. Во время учебы в Университете Л.С. Смирнов работал лаборантом у С.Э. Фриша.

В Свердловском государственном университете (1-й курс)

Ленинградский государственный университет

Л.С. Смирнов в общежитии ЛГУ
На военных сборах (артиллеристы)
Выпускники ЛГУ 1954 г. Слева направо: Александр Катаев, Михаил Митцев, Юрий Зубенко, Леонид Смирнов.

2. ФИАН

После окончания Университета в 1954 г. Л.С. Смирнов был направлен в аспирантуру в Физический Институт им. Н.Н. Лебедева АН (ФИАН), когда формировалась лаборатория полупроводников во главе с Б.М. Вулом. Он попал в группу Виктора Сергеевича Вавилова, которая занималась разработкой сплавных германиевых транзисторов, а затем «солнечных» и «атомных» электробатарей. В этой же лаборатории работал и А.В. Ржанов, будущий директор Института физики полупроводников Сибирского Отделения АН. В ФИАНе Л.С. Смирнов проработал 8 лет. В 1956 году он был уже младшим научным сотрудником, а в 1961 году защитил кандидатскую диссертацию. Леонид Степанович глубоко уважал своего учителя и наставника, их дружба с B.C. Вавиловым продолжалась многие годы, вплоть до самой смерти Виктора Сергеевича в 1999 году. Многие годы оригинальный портрет Виктора Сергеевича занимал почетное место в кабинете Леонида Степановича.

В ФИАНе Леонид Степанович встретил Марию Павловну Шадрину, которая вскоре стала не только его женой и верной спутницей на последующие полвека, но и ближайшей помощницей в решении проблем при создании группы химиков лаборатории радиационной физики.

Виктор Сергеевич Вавилов
(портрет неизвестного художника)
Шадрина Мария Павловна
Наталья Леонидовна и Павел Леонидович Смирновы (Павел Смирнов - сотрудник лаборатории № 15 ИФП СО РАН).
(Эта фотография постоянно находилась на рабочем столе Л.С.Смирнова)

3. Сибирь

Новый поворот в жизни Леонида Степановича произошел в 1962 году, когда он был приглашен А.В. Ржановым в состав орготряда по строительству и формированию Института физики твердого тела и полупроводниковой электроники. Сам Леонид Степанович об этом пишет так: «Анатолий Васильевич предложил мне войти в состав организационной группы, я согласился без колебаний и принял активное участие в оргделах и формировании первого эшелона сотрудников 1962-1963 годов, а затем строительстве корпусов, создании базового оборудования, выборе тематик, запуске лабораторий, налаживании рабочего климата института. И тогда и сейчас я считаю для себя это предложение большой честью». Следует заметить, что Л.С. Смирнова и А.В. Ржанова связывала не только наука, у них было много общих интересов и вне работы. Они оба были заядлыми охотниками, могли сутками пропадать в сибирской тайге или на озерах Новосибирской, Томской областей и Алтайского края. Леонид Степанович вообще был очень разносторонним человеком. В его архиве сохранился стих, который сотрудники лаборатории № 10 сочинили к его 50-летию:

Завлаб, охотник, садовод,
Автолюбитель, горнолыжник.
Отважный викинг обских вод,
Создатель популярных книжек...

И это далеко не полный перечень его увлечений, еще он играл на балалайке, пел, писал замечательные пейзажи маслом и акварелью, играл в волейбол, писал замечательные стихи.

Рыбаки (Л.С. Смирнов - второй справа, в центре - А.В. Ржанов)
Охотники на привале (Л.С. Смирнов - в центре)

4 октября 1962 года Леонид Степанович возглавил лабораторию «Радиационной физики», которой был присвоен порядковый номер 10. Уже в 1963 году начались первые эксперименты, которые были проведены на серии радиоизотопных источников. Начаты первые конструкторские работы и изготовление электронного ускорителя «Микротрон». Лаборатория принимала непосредственное участие в строительстве специализированных блоков под ускорители и радиоактивные источники. Интересно, что первые работы по влиянию электронной бомбардировки на свойства поверхности германия и по изучению ионизационных потерь в полупроводниках были проведены на установках, в которых использовались стеклянные детали, изготовленные еще в ФИАНе.

В 1969 году Л.С. Смирнов защитил докторскую диссертацию на тему: «Радиационные эффекты в некоторых полупроводниках». Начиная с 1972 года были введены в практику проведения ежегодных Всесоюзных семинаров по проблеме «Радиационная физика полупроводников». Сам Леонид Степанович придавал этим семинарам очень большое значение. В своих воспоминаниях он пишет: «Это хорошо снимало эффект удаленности от центра и обеспечивало связи с МЭПом, атомными станциями и республиканскими академиями. Наш семинар стал смотром достижений за год, проверкой новых идей, обменом планами, знакомством с молодежью, форумом подготовки диссертаций. Непринужденная, дружеская обстановка, фонтан идей, бурные и плодотворные дискуссии, результативные контакты сделали наш семинар координационным центром по проблеме в стране. 17 семинаров! ... Здесь я с большой благодарностью, восторгом и уважением называю имена коллег, полюбивших наш семинар и сделавших его поистине эпохальным. Это - В.М. Мордкович (Москва), Н.А. Ухин (Москва), Р.Ф. Коноплева (Ленинград), И.А. Аброян (Ленинград), В.Л. Винецкий (Киев), В.И. Шаховцов (Киев), А.П. Карацюба (Москва), И.Б. Хайбуллин (Казань), Т.В. Машовец (Ленинград), Б.Н. Мукашев (Алма-Ата), А.Е. Кив (Ташкент, Одесса), О.Р. Ниязова (Ташкент, Москва).»

В начале 70-х годов в ИФП под руководством Л.С. Смирнова начались работы по влиянию лазерного, а затем импульсного термического отжига на структурные и электрофизические свойства полупроводников. Результаты этих исследований были высоко оценены государством. В 1988 году Л.С. Смирнову, Л.Н. Александрову, Г.А. Качурину и А.В. Двуреченскому была присуждена Государственная Премия СССР.

Первый Всесоюзный семинар «Радиационная физика полупроводников», 1972 г.
Последний Всесоюзный семинар «Радиационная физика полупроводников», 1991г.
Участники 1-го советско-американского семинара 1977 г.

4. Лаборатория радиационной физики 1962-1998 гг.

Приказ о создании лаборатории радиационной физики с порядковым номером № 10 был подписан 4 октября 1962 года. Ее заведующим был назначен кандидат физико-математических наук Леонид Степанович Смирнов. О том, как создавалась лаборатория, и о первых шагах ее жизни Леонид Степанович пишет в своих воспоминаниях так: «В конце 50-х годов в ФИАНе (Москва) и ФИЗТЕХе (Ленинград) родились идеи управления свойствами кристаллов путем облучения частицами. Инициаторами этого направления были профессора В.С. Вавилов и С.М. Рыбкин. Уже первые шаги по созданию «атомных» и солнечных батарей показали его перспективность и, главное, привели к открытию важных и совсем непонятных тогда эффектов в полупроводниках.

Поэтому, когда в 1962 году от ФИАНа отпочковывался десант в Академгородок Новосибирска, лаборатория радиационной физики (лаб.№10) стала одной из первых в Институте физики полупроводников (тогда он назывался «Институт физики твердого тела и полупроводниковой электроники»).

Уже с октября стало формироваться ее ядро - Л.С. Смирнов, М.П. Шадрина, Н.Н. Герасименко, - из Москвы, В.Н. Овсюк, А.В. Васильев - из Ленинграда, Л.А. Рыбакова, Н.А. Барышников - из Новосибирска - это 1962 год; а в 1963 году мощное пополнение - В.И. Стась, Г.А. Качурин, А.Е. Городецкий, В.М. Зелевинская, Ю.В. Лобурец, В.Г. Серяпин, И.И. Гейци, В.А. Патренин, Ю.М. Лимасов, С.А. Соколов, В.М. Булатов - полнокровная лаборатория того времени. Состав ее впоследствии менялся, кто-то приходил, переходил в другие подразделения института, от лаборатории отпочковывались дочерние подразделения, но основа стабилизировалась в конце 60-х - начале 70-х годов, когда она пополнилась В.И. Пановым, В.В. Хайновской, А.В. Двуреченским, Н.Б. Придачиным, А.А. Нестеровым.»

В 1962 году в составе лаборатории было 7 человек, лаборатория в это время располагалась в 2-х комнатах Института неорганической химии. В 1963 году численность лаборатории уже составляла 18 человек, и в этом же году лаборатория «переехала» в Институт катализа. В 1963 году начались первые эксперименты по исследованию влияния облучения с использованием радиоизотопных источников и электронных пучков на свойства поверхности германия и ионизационных потерь. В этом же году под руководством В.Г. Серяпина началось конструирование и изготовление электронного ускорителя «Микротрон» уже на площадях Института физики полупроводников (сейчас в этом зале располагается ионный ускоритель «Везувий-5», модифицированный для КНИ технологии). Уже 1964 году появилась первая от ИФП публикация, вышедшая из ИФП, она была сделана в 10 лаборатории - это статья: В.Н. Овсюк, Л.С. Смирнов «Влияние электронной бомбардировки на состояние поверхности германия», ФТТ, т.6, в.10, с.3031,1964 г.

В 1964 году в лаборатории появился первый аспирант, им была преподаватель НЭТИ Валентина Васильевна Хайновская. Тема ее исследований «Взаимодействие дислокаций с радиационными дефектами» была сформулирована под только создаваемый ускоритель «Микротрон».

В 1966 году в лаборатории появился первый стажер Вера Михайловна Степанова (Зелевинская). В 1968 году в Германии была приобретена ионная установка «Ван-Граф», автором ионного источника к которому является выдающийся немецкий физик и изобретатель Манфред фон Арденне. Всего таких ускорителей было изготовлено 3, один из которых до сих пор работает в исследовательском центре Россендорф (Дрезден), а второй в лаб.10 ИФП СО РАН.

Наладка циклотронного ускорителя электронов «Микротрон». Слева направо: Валерий Александрович Патренин, Юрий Михайлович Лимасов и Валентин Григорьевич Серяпин. Первый аспирант лаборатории №10 Валентина Васильевна Хайновская
Первый стажер лаборатории №10 Вера Михайловна Степанова (Зелевинская)
Лаборатория №10 в 1970 году.
Альберт Васильевич Васильев Л.С. Смирнов, Г.А. Качурин и В.Ф. Стась в кабинете Л.С. Смирнова
Григорий Аркадьевич Качурин за работой на ионной пушке, сконструированной в лаб. 10.
Л.С. Смирнов, В.И. Абраменко и В.И. Ободников во время наладки ускорителя «Ван-де-Грааф».
Баранов Александр Иванович, главный теоретик лаб. 10

Важными этапами лаб. 10 стали два Советстко-Американских семинара по физике ионной имплантации (1977 - Олбани, США и 1979 - Пущино, СССР). Идея проведения семинаров осуществлялась благодаря активности Н.Н. Герасименко. Именно на этих семинарах впервые получили международную огласку и первое международное признание работы по лазерному отжигу полупроводников, за которые в 1988 году Л.С. Смирнову, Л.Н. Александрову, Г.А. Качурину и А.В. Двуреченскому была присуждена Государственная Премия СССР.

В 1982 году от лаборатории №10 отделилась группа во главе с Н.Н. Герасименко и была сформирована лаборатория радиационных технологий с порядковым номером №18. Еще 2 лаборатории отделились в 1984 году. Одну из них (лаборатория №23) возглавил В.В. Болотов, а затем возглавлял М.Д. Ефремов. Лаборатория №24 была сформирована как лаборатория импульсных воздействий под руководством Е.В. Нидаева, а затем ее возглавляли Ф.Л. Эдельман, В.Г. Серяпин и А.В. Двуреченский.

А.В. Двуреченский и Н.Н. Герасименко В.В. Болотов
Л.С. Смирнов в своем рабочем кабинете Лаборатория №10 в 1970 году.
(из фольклора лаб.10)

В 1992 году Л.С. Смирнов покинул должность заведующего лаборатории №10, и на эту должность по предложению Леонида Степановича был назначен В.П. Попов. К этому времени главной тематикой лаборатории №10 становится разработка технологии и создание структур кремний-на-изоляторе (КНИ) и приборов на их основе. Большой вклад в создание этой технологии был внесен В.П. Поповым, Л.В. Мироновой, Н.В. Дудченко, А.И. Поповым, И.В. Антоновой и др. Сейчас созданная в лаборатории технология КНИ является основой для создания нанотранзисторов, биосенсоров и радиационно-стойкой электроники. В лаборатории работает 20 человек, из них 3 доктора физ.-мат. наук, 4 кандидата физ.-мат. наук, ведущие инженеры и инженеры-технологи. В 1998 году Лаборатория радиационной физики была переименована в Лабораторию физических основ материаловедения кремния.