ОБОРУДОВАНИЕ

Оборудование лаборатории включает:

  • лицензионные программы квантово-химического моделирования атомной и электронной структуры твёрдых тел и физическое моделирование технологий и приборов микроэлектроники (имеются программные пакеты: CPMD, QUANTUM ESPRESSO, NWCHEM, Wien2k, Sentaurus TCAD, Matlab и кластер из 8 вычислительных узлов, объединённых сетью InfiniBand 40Gb/s (100 ядер, 184GB RAM) с производительностью до 2 Тфлопс, позволяющий выполнять сложные численные расчёты);

  • экспериментальную линию по изготовлению гетероструктур на изоляторе методом водородного переноса, в том числе с нанометровыми толщинами слоёв, включающую:

    • ускорители для имплантации ионов; установку прямого соединения и совмещения полупроводниковых пластин кремния; высокотемпературные печи для отжигов п/п пластин диаметром до 150 мм в различной среде; установки для плазменных и импульсных отжигов пластин; установки для нанесения диэлектрических и металлических слоёв;

    • ускоритель электронов и лёгких ионов с параметрами: энергия до 2 МэВ, ток до 0.1 мА;

    • установку соединения полупроводниковых пластин (Wafer bonder) в составе: модуль предварительного совмещения SUSS MA/BA8 GEN3 BOND ALIGNER c модулем плазменных обработок SUSS SELECT, и модуль соединения SUSS SB8e;

    • цифровой анализатор полупроводниковых схем Agilent Technologies B1500A Semiconductor Device Analyser (Agilent Technologies) и анализатор амплитудно-частотных характеристик фирмы Agilent 5230А с диапазоном 300 кГц - 3 ГГц, импульсные усилители СВЧ сигнала диапазона 2.45 – 3 ГГц с частотой повторения до 50 кГц;

    • зондовые установки контроля электрофизических параметров пластин, полупроводниковых чипов и приборов на базе измерительной установки фирмы Keithley и измерительных плат фирмы National Instruments (USA) c программным обеспечением LabView;

    • ИК-фурье спектрометр Bruker с ИК-микроскопом HYPERION 2000, оптические микроскопы х1000 с интерференционными и поляризационными системами.