Лаборатория физической химии поверхности полупроводников и систем полупроводник-диэлектрик

ПАТЕНТЫ

  1. R.G.Sharafutdinov, V.M.Karsten, A.A.Polisan, O.I.Semenova, V.B.Timofeev, S.Ya.Khmel. Method for carrying out homogeneous and heterogeneous chemical reactions using plasma. International patent #WO03068383, 21.08.2003.

  2. В.Ш. Алиев, В.Н. Вотенцев, Ю.И. Хапов. Патент на изобретение «Устройство для нанесения многослойных оптических покрытий». Патент РФ: RU 2 312 170 C2, опубликован 10.12.2007 Бюл.№34.

  3. В.В. Заддэ, Д.С. Стребков, О.И. Семенова. Патент на изобретение «Солнечный элемент. Метод получения» № 2008152217 от 30.12.2008.

  4. Могильников К.П., Семенова О.И. Патент на изобретение «Устройство для определения пористых характеристик тонких слоев (Варианты)» № 2008118039 от 27.12.2009.

  5. Романов С.И., Вандышева Н.В., Семенова О.И., Косолобов С.С. Патент на изобретение «Способ получения канальной матрицы» № 2428763, 2011г.

  6. Романов С.И., Вандышева Н.В., Семенова О.И., Данилюк А.Ф., Косолобов С.С. Патент на изобретение «Способ получения кремниевой канальной матрицы» № 2433502, 2011г.