Вернуться к расписанию
10-е заседание. Председатель - В.В.Козловский
Дата:Четверг, 25 октября
Время:11:15-13:30
Место: Малый зал Дом Ученых, Новосибирск
Приглашенные доклады
11:15 - 11:45
Н.Н.Герасименко
Ионный синтез кремниевых наноструктур
Национальный исследовательский университет "МИЭТЭ", Москва, Зеленоград
11:45 - 12:15
В.А.Быков
, К.Ю.Борисов, А.В.Быков, В.В.Котов, В.В.Поляков
Кластерные технологические линии микро и наноэлектроники с использованием систем многолучевой безмасковой литографии
Группа предприятий "НТ-МДТ", Москва
12:15 - 12:45
В.П.Попов1, Л.Н.Сафронов1, В.А.Антонов1, А.К.Гутаковский1, В.И.Ободников1, С.Н.Подлесный1, И.А.Карташев1, А.В.Шишаев1, И.И.Рябцев1, И.Н.Куприянов2, А.А.Калинин2, Ю.Н.Пальянов2, С.Рубанов3
Алмазные структуры для оптоэлектроники и квантовой информатики: ионная имплантация и отжиг под давлением
1Институт физики полупроводников им. А.В.Ржанова, Новосибирск,
2Институт геологии и минералогии им. В.С.Соболева, Новосибирск,
3Биоинститут Университета Мельбурна, Мельбурн
12:45 - 13:00
Р.А.Хмельницкий
, В.А.Дравин, А.А.Таль, М.И.Латушко, А.А.Хомич, А.В.Хомич, А.С.Трушин, А.А.Алексеев, С.А.Терентьев
Вспухание и аморфизация алмаза при ионной имплантации
Физический институт имени П.Н.Лебедева РАН, Москва
Приглашенный доклад
13:00 - 13:30
Paul F.A.Alkemade
Sub-Nanometer Focused Helium Ion Beam for Structuring Materials on the Nanoscale
Kavli Institute of Nanoscience, Delft University of Technology, Delft, The Netherlands