К.Ю.Куваев1, Frank Torregrosa2, Julian Duchaine2
Современные тенденции развития систем ионно-лучевой и плазменно-иммерсионной имплантации для научно-исследовательских целей и мелкосерийного производства
1Компания Technoinfo Ltd., Москва
2Компания IBS, Peynier, France |