Вернуться к расписанию
4-е заседание. Председатель - Р.М.Баязитов
Дата:Вторник, 23 октября
Время:17:30-18:30
Место: Малый зал Дом Ученых, Новосибирск
Приглашенный доклад
17:30 - 18:00
А.Ф.Вяткин
Формирование сверхузких p-n переходов в кремнии ионной имплантацией
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка
18:00 - 18:30
К.Ю.Куваев1, Frank Torregrosa2, Julian Duchaine2
Современные тенденции развития систем ионно-лучевой и плазменно-иммерсионной имплантации для научно-исследовательских целей и мелкосерийного производства
1Компания Technoinfo Ltd., Москва
2Компания IBS, Peynier, France