О.А.Подсвиров1, П.А.Карасёв1,
А.Я.Виноградов2,
В.С.Беляков1,
А.В.Архипов1, К.В.Карабешкин1, Н.Н.Карасёв3, Е.Н.Шубина1, А.И.Титов1
Влияние ионной бомбардировки на свойства α-C:H плёнок
1Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург
2Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе, Санкт-Петербург
3Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург
|