40-л е т    м е т о д у   э л л и п с о м е т р и и

     Лаборатория эллипсометрии полупроводниковых материалов и структур ИФП СО РАН

О нас...
Новости
О методе эллипсометрии
Области применения
Лазерный эллипсометр
ЛЭФ -757
Спектральный эллипсометр "Эллипс-1891"
Публикации
Публикации для скачивания
Контакты
40 лет методу эллипсометрии
thinlayers.ru
ИФП СО РАН
""Эллипсометрия. Диагностика и контроль тонких пленок и слоев""
   Новости
Май 2011 года: МАГНИТОЭЛЛИПСОМЕТРИЯ – НОВОЕ НАПРАЛЕНИЕ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОЙ НАНОДИАГНОСТИКИ
Май 2011 года: ЦЕНТРЫ КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ РАСШИРЯЮТ СВОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ ПАРК
Май 2011 года: Наносертифика-2011
Июнь 2010 года:

СПЕКТРАЛЬНЫЙ РЕФЛЕКТОМЕТРИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС КРС-2

Июнь 2009 года: Президент РАН ознакомился с эллипсометрами ИФП
Июнь 2009 года: BIONANO- 09
Май 2009 года: РОСНАНО И ЭЛЛИПСОМЕТРЫ
Апрель 2009 года: Быстродействующий «in-situ» лазерный эллипсометр ЛЭФ-757 в нц "Черноголовка"
Апрель 2009 года: Доклады на всероссийской научно-технической конференции «ФОТОМЕТРИЯ И ЕЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ»
Ноябрь 2008 года:
 РОССИЯ И КАЗАХСТАН: курс на интеграцию
 Наши эллипсометры на Урале
 Омск прирастает эллипсометрам
 Курс- на импортонезависимость
Сентябрь 2008 года: Наши эллипсометры в научно-образовательном процессе университетов РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
Июль 2008 года:  Эллипсометры поднимаются в космос
МАГНИТОЭЛЛИПСОМЕТРИЯ – НОВОЕ НАПРАЛЕНИЕ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОЙ НАНОДИАГНОСТИКИ
       Магнитоэллипсометрия – новое перспективное направление исследования магнитных наноструктур полупроводниковой спинтроники. Метод сочетает в себе традиционное эллипсометрическое зондирование - измерение амплитудно-поляризационных характеристик отражённого света, с измерением параметров оптического отклика, возникающего при модуляции магнитного поля (магнитооптический эффект Керра). Такой подход позволяет получить информацию не только об оптических, структурных, свойствах, морфологии поверхности, но и характеризовать магнитную упорядоченность выращенных структур, исследовать доменную магнитную структуру, измерять величину коэрцитивной силы, изучать другие свойства. Метод магнитоэллипсометрии совместно разработан с Институтом физики им. Л.В. Киренского СО РАН (г. Красноярск) и успешно используется для прецизионной in situ диагностики ферромагнитных наноструктур. С этой целью на камеры роста магнитных наноструктур (фото) установлены лазерный и спектральный магнитоэллипсометры, с помощью которых можно в процессе роста характеризовать свойства слоёв и корректировать при необходимости их параметры.
Подробнее:"СПЕКТРАЛЬНЫЙ МАГНИТОЭЛЛИПСОМЕТР" © 2009 г. С. В. Рыхлицкий, В. А. Швец, Е. В. Спесивцев, В. Ю. Прокопьев. Скачать
ЦЕНТРЫ КОЛЛЕКТИВНОГО ПОЛЬЗОВАНИЯ РАСШИРЯЮТ СВОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ ПАРК
       В составе аналитического парка средств измерений Центра коллективного пользования Омского научного центра СО РАН (ЦКП ОНЦ СО РАН) появился еще один эллипсометр, на этот раз это «Автоматический встраиваемый быстродействующий эллипсометр».
Задачи, которые предполагается решать с помощью in-situ эллипсометра, связаны с выполнением научно-исследовательских работ создания перспективных наноматериалов и наносистем в технологиях полупроводниковой наноэлектроники, а также в электронно-ионно-плазменных технологиях, технологиях микросенсорики и нанокатализа, мембранных технологиях, технологиях создания полимеров и композитов, технологиях биоинженерии и медицины, космических технологиях и др.
Эллипсометр предназначен для нанодиагностики оптических и структурных свойств различных слоистых функциональных материалов в масштабе реального времени, как однородных так и композиционных, в том числе наноструктурированных, таких как нанокристаллические пленки, диэлектрические материалы с металлическими нанокластерами, получаемые воздействием мощных ионных пучков, а также экспрессного определения оптических постоянных наноструктурированных полупроводниковых и диэлектрических материалов, изучения наличия и характеристик нановключений в них, исследования свойств пористых материалов и др
Наносертифика-2011
Обсуждается проблема создания THz-эллипсометра на базе Новосибирского лазера на свободных электронах (слева-направо: зам.директора ИХКиГ СОРАН проф. Петров А.К., зав. лабораторией эллипсометрии ИФП СОРАН Рыхлицкий С.В., д.ф.-м.н. Швец А.В.).
       26-29 апреля в Новосибирском Академгородке работала 4-я школа «Метрология и стандартизация в нанотехнологиях и наноиндустрии. Функциональные наноматериалы».
Школа является ведущей в РФ коммуникационной и образовательной площадкой,направленной на обсуждение актуальных проблем и повышение квалификации специалистов компаний наноиндустрии, регулирующих органов, центров коллективного пользования, испытательных центров и лабораторий в области метрологического обеспечения производств, испытаний продукции наноиндустрии и стандартизации.
Организаторами школы являлись: ОАО «РОСНАНО», Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, СО РАН. Оператором школы выступил «Метрологический центр РОСНАНО».
Поскольку эллипсометрия является общепризнанным и одним из ведущих методов нанометрии слоистых тонкопленочных материалов и структур, лаборатория эллипсометрии
ИФП СО РАН приняла активное участие в работе школы. Заведующий лабораторией Рыхлицкий С.В. выступил с обзорным докладом: «Эллипсометрическая диагностика слоистых наноматериалов». Сотрудниками лаборатории были представлены доклады: «Метрологическое обеспечение единства эллипсометрических измерений» (совместный доклад с ВНИИОФИ), «Экспресс-диагностика биочипов нового поколения методами отображающей эллипсометрии» (совместный доклад с ИХБФМ СО РАН), «Диагностика магнитных наноструктур методом магнитоэллипсометрии в процессе роста» (совместный доклад с ИФ СО РАН), «Прецизионный контроль бионанотехнологий методом плазмон-эллипсометрии» (совместный доклад с ИЦиГ СОРАН и ИТ СО РАМН).
СПЕКТРАЛЬНЫЙ РЕФЛЕКТОМЕТРИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС КРС-2
спектральный диапазон 200-1000нм
размеры кюветной камеры 100x100x160мм
минимальные габариты образца 5x5x15мм
максимальные габариты образца 90x90x150мм
      Разработан и изготовлен новый прибор - спектральный рефлектометр КРС-2. Прибор предназначен для оценки качества оптических материалов по параметру объёмного светорассеяния, производственной отбраковки и решением других задач, связанных с рассеянием излучения в прозрачных средах. В настоящее время прибор используется в Институте геологии СО РАН для контроля искусственно выращенных монокристаллов
Президент РАН ознакомился с эллипсометрами ИФП
Председатель СО РАН, директор ИФП СО РАН академик Асеев А.Л., заведующий лабораторией эллипсометрии Рыхлицкий С.В. и Президент РАН Осипов Ю.С
       24 июня Институт физики полупроводников посетил Президент РАН Ю.С. Осипов. Во время своего визита он с большим интересом ознакомился с последними разработками института в области научного приборостроения. Директор института академик А.Л. Асеев и заведующий лабораторией эллипсометрии С.В. Рыхлицкий подробно ознакомили его с представленными на экспозиции современными моделями эллипсометров последнего поколения, а также продемонстрировали, для сравнения, первую модель автоматического эллипсометра, разработанную в ИФП еще в середине 80-х годов прошлого века и предназначенную для освоения промышленного производства эллипсометров в стране.
Были обсуждены перспективы использования эллипсометров ИФП для нанодиагностики тонкопленочных технологий в полупроводниковой наноэлектронике, оптике, нанокатализе, нанобиологии и др. направлениях. Ю.С.Осиповым была отмечена особенно высокая эффективность эллипсометрической нанометрии для определения состава слоев, кристаллического совершенства материалов и, в первую очередь, определения с высокой точностью их геометрических характеристик-толщин слоев.
BIONANO- 09
       10-14 июня в Доме ученых Новосибирского Академгородка состоялась конференция «Химическая биология: фундаментальные проблемы бионанотехнологии». С устным докладом «ОПТИЧЕСКАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ: ПРИМЕНЕНИЕ В БИОЛОГИИ И МЕДИЦИНЕ» на конференции выступил заведующий лабораторией эллипсометрии С.В. Рыхлицкий. В докладе был дан анализ основных направлений использования эллипсометрии в нанобиотехнологиях и освещено современное состояние приборного обеспечения метода, применительно к решению медико-биологических задач.
РОСНАНО И ЭЛЛИПСОМЕТРЫ
       21 мая Генеральный директор Государственной корпорации «Российская корпорация нанотехнологий» (РОСНАНО) Чубайс А.Б. посетил с рабочим визитом Институт физики полупроводников. Во время ознакомления Чубайса А.Б. с последними достижениями ИФП в области нанотехнологий, заведующий лабораторией эллипсометрии Рыхлицкий С.В. представил ему современные модели автоматических эллипсометров, разработанных в институте . Развитие нанотехнологий невозможно без использования высокоэффективных нанодиагностических систем. Эллипсометрия же, как одно из перспективных направлений   нанометрии, является прецизионным
методом анализа тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением и все более широко используется для нанодиагностики в различных тонкопленочных нанотехнологиях. Были отмечены высокий научно-технический уровень отечественных эллипсометров и инновационная перспективность их серийного производства.
Быстродействующий «in-situ» лазерный эллипсометр ЛЭФ-757 в нц "Черноголовка"
       В научном центре «Черноголовка» запущен в эксплуатацию еще один эллипсометр, на этот раз это «Быстродействующий «in-situ» лазерный эллипсометр ЛЭФ-757». Эллипсометр установлен на сверхвысоковакуумную технологическую установку и предназначен для высокоскоростного мониторинга кинетических процессов на поверхности твердого тела непосредственно в процессе проводимых исследований.
Доклады на всероссийской научно-технической конференции «ФОТОМЕТРИЯ И ЕЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ»
Научные сотрудники лаборатории эллипсометрии ИФП СО РАН приняли активное участие в работе 18-ой Всероссийской научно-технической конференции «ФОТОМЕТРИЯ И ЕЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ», которая проводилась в г. Москве в период с 15-17 апреля 2009 г. Тексты докладов :
Скачать ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКАЯ УСТАНОВКА ВЫСОКОГО ВРЕМЕННОГО РАЗРЕШЕНИЯ ДЛЯ ИЗУЧЕНИЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ПРОЦЕССОВ. В. А. Швец, С. В. Рыхлицкий, Е. В. Спесивцев, В. Ю. Прокопьев, Институт физики полупроводников СО РАН, г.Новосибирск.
Скачать СПЕКТРАЛЬНЫЙ МАГНИТОЭЛЛИПСОМЕТР ДЛЯ ИЗУЧЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНОГО МАГНИТООПТИЧЕСКОГО ЭФФЕКТА КЕРРА. В. А. Швец, С. В. Рыхлицкий, Е. В. Спесивцев, В. Ю. Прокопьев, Институт физики полупроводников СО РАН, г. Новосибирск.
Скачать СКАНИРУЮЩИЙ МИКРОЭЛЛИПСОМЕТР. С. В. Рыхлицкий, Е. В. Спесивцев, В. А. Швец, В. Ю. Прокопьев, Институт физики полупроводников, г. Новосибирск.
Скачать БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИЙ СТОКС – ЭЛЛИПСОМЕТР. С.В. Рыхлицкий, А.Г. Борисов Институт физики полупроводников СО РАН, г. Новосибирск.
Скачать СПЕКТРОЭЛЛИПСОМЕТР РЕАЛЬНОГО ВРЕМЕНИ НА ОСНОВЕ КОММУТАЦИОННОЙ СХЕМЫ. С.В. Рыхлицкий, С.А. Дулин Институт физики полупроводников СО РАН, г. Новосибирск.
Скачать ППР-ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ АНАЛИЗА БИООРГАНИЧЕСКИХ СРЕД. Рыхлицкий С. В., Кручинин В. Н., Спесивцев Е. В., Швец В. А. Институт физики полупроводников СО РАН, г. Новосибирск.
Скачать СПЕКТРАЛЬНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС UVI-ДИАПАЗОНА. С. В. Рыхлицкий, Е. В. Спесивцев, В. А. Швец Институт физики полупроводников, г. Новосибирск.
РОССИЯ И КАЗАХСТАН: курс на интеграцию
       Интенсивно развиваются научно-технические контакты между Институтом физики полупроводников СО РАН и Физико-техническим институтом Республики Казахстан (г. Алматы) в области разработки и создания перспективных нанотехнологий и их использования в солнечной энергетике. Так в ФТИ успешно завершены работы по монтажу и наладке «Спектрального эллипсометра «ЭЛЛИПС-1000М», разработанного и изготовленного в ИФП СО РАН. Эллипсометр представляет собой современное высокотехнологичное измерительное оборудование субнанометрового диапазона и будет использоваться для выполнения работ, направленных на реализацию мегапроекта по производству мультикремния для фотопреобразователей солнечной энергии.
       Эллипсометрический комплекс успешно принят в эксплуатацию.
Наши эллипсометры на Урале
       Институт физики полупроводников СО РАН на протяжение многих лет имеет плодотворные научные и технические связи с Уральским отделением РАН. Выполняются совместные Комплексные и Интеграционные проекты, проводятся работы в области создания новых наноматериалов и структур. Успешно используется при этом для нанодиагностики и контроля метод оптической эллипсометрии. Так эллипсометры давно работают в ИФМ УрО РАН и ИФМК РАН. Сейчас завершены работы по комплексной наладке еще одного «Спектрального эллипсометрического комплекса «ЭЛЛИПС-1891» в Институте механики сплошных сред УрО РАН.
       Комплекс с высокой оценкой принят в эксплуатацию.
Омск прирастает эллипсометрами
       В Центре коллективного пользования Омского научного центра СО РАН завершены работы по запуску «Автоматического быстродействующего спектрального эллипсометра «АСЭБ-10М» (Изготовитель ИФП СО РАН). В первую очередь эллипсометр будет использоваться при проведении исследований по возможности применения в микросенсорике новых наноструктурированных материалов с неоднородной структурой: пористый кремний, нанокристаллитные пленки, диэлектрические материалы с металлическими нанокластерами, протонпроводящие твердые электролиты и керамики, наноуглеродные материалы, наноструктуры КНИ и др. Эллипсометр изготовлен за счет средств Программы импортозамещения СО РАН, на протяжении многих лет успешно и эффективно работающей в СО РАН под руководством академика Сагдеева Р.Д.
       Ранее по этой Программе эллипсометрами различных моделей были оснащены ЦКП Красноярского и Бурятского научных центров СО РАН, а также ряд институтов СО РАН (ИАиЭ, ИГиМ, ИФ, ИНХ, ИОХ, ИХН, ИЛФ, ИХТТМи др.)
Курс- на импортонезависимость
Эллипсометрический комплекс успешно принят в эксплуатацию.
       Космическая отрасль страны твердо придерживается курса создания отечественных космических систем на основе собственной электронной элементной базы.
   Во ФГУП «Российский научно-исследовательский институт космического приборостроения» успешно завершены работы по вводу в эксплуатацию «Спектрального эллипсометрического комплекса «Эллипс-1891 САГ». Комплекс будет использоваться в качестве контрольно-измерительного средства в области разработки технологий создания перспективных электронных компонентов для космических систем различного функционального назначения.

        Ранее наши эллипсометры были закуплены и другими научно-производственными предприятиями отрасли:

  • ФГУП НПО «Измерительная техника» (г.Королев)
  • ФГУП НПП «Квант» (г.Москва)
  • ОАО «Экситон» (г. Павловский Посад)

Наши эллипсометры в научно-образовательном процессе университетов РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

        В Новосибирском государственном университете в составе Научно-образовательного комплекса "Наносистемы и современные материалы" создана лаборатория эллипсометрии. Для оснащения лаборатории университетом было закуплено следующее оборудование:

Подробнее...

  • "Лазерный сканирующий микроэллипсометрический комплекс"

  • "Быстродействующий спектроэллипсометрический комплекс"

  • "Эллипсометрическая вакуумная высокотемпературная установка"

        Заведующим лабораторией назначен
        к.ф.-м.н., доцент
       Швец Василий Александрович,
        тел.(383) 333-27-27;
       shvets@isp.nsc.ru

       Задачами лаборатории являются выполнение научно-исследовательских работ и обеспечение учебно-образовательного процесса в области нанометрии и нанодиагностики многослойных тонкопленочных структур, предназначенных для создания перспективных наноматериалов и наносистем в технологиях полупроводниковой наноэлектроники, микро-,опто-, радио-, СВЧ- и акусто-электроники, лазерных и электронно-ионно-плазменных технологиях, нанокатализа, мембранных технологиях, технологиях создания полимеров и композитов, технологиях биоинженерии и медицины, космических технологиях и др.

        Наши автоматические эллипсометры последнего поколения уже приобрели:

  • Омский госуниверситет
  • Томский госуниверситет
  • Ульяновский госуниверситет
  • Чувашский госуниверситет
  • Саратовский госуниверситет
  • Воронежский госуниверситет
  • Южный федеральный университет
  • Санкт-Петербургский политехнический университет
  • Ереванский политехнический университет
  • Софийский университет им. К.Охридского и др.

Эллипсометры поднимаются в космос


Физико-техническом институте г. Алматы, Казахстан

       9-11 июля в Физико-техническом институте г. Алматы, Казахстан был организован Международный семинар по совместному сотрудничеству между Россией, Казахстаном и США в области нанотехнологий и нанотехнологической деятельности в открытом космосе. Особое внимание в работе семинара было уделено участию Российских ученых и Научных центров в организации Национальной нанотехнологической лаборатории в специальной экономической зоне "Парк информационных технологий" г. Алматы и перспективам совместного проекта по созданию орбитальной космической установки молекулярно-лучевой эпитаксии, работающей под управлением информационно-измерительного эллипсометрического комплекса "ЭЛЛИПС-АМЕТИСТ".


Доклад проф. Рыхлицкого Сергея Владимировича

 

       На семинаре присутствовал заведующий лабораторией эллипсометрии ИФП СО РАН проф. Рыхлицкий Сергей Владимирович, который выступил с обзорным докладом: "Эллипсометрия-прецизионный метод нанодиагностики многослойных тонкопленочных структур" (обзор будет опубликован в одном из ближайших номеров журнала "Российские нанотехнологии".


Директором ФТИ, проф. Токмолдиным С.Ж. и проф.Рыхлицкий С.В.

       После завершения семинара, на состоявшемся брифинге, директором ФТИ, проф. Токмолдиным С.Ж. было объявлено о подписании контракта между ИФП СО РАН и ФТИ на поставку в Казахстан в 3 квартале этого года Спектрального эллипсометрического комплекса "ЭЛЛИПС-1000М". В дальнейшем предполагается еще ряд контрактов на разработку и поставку в Казахстан современной эллипсометрической аппаратуры
От измерений за
20 минут
к измерениям за
1 миллисекунду...
Спектральный эллисометр "Эллипс-
-1891"
Лазерный эллипсометр ЛЭФ-757
ЛЭФ-752

Сканирующий эллипсометр высокого пространст-
венного разрешения MICROSCAN


ЛЭФ-3М, самый известный эллипсометр в нашей стране
ЛЭФ-2
Первый настольный автоматич-
еский эллипсометр
последнее обновление июнь 2009г. Aulchenko Nina