Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИМ. А.В. РЖАНОВА
Сибирского отделения Российской академии наук
Лаборатория физической химии поверхности полупроводников и систем полупроводник-диэлектрик

заведующая лабораторией
Семенова Ольга Ивановна
к.х.н.

тел. (383) 330-85-91


E-mail:

ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Лаборатория физической химии поверхности полупроводников и систем полупроводник-диэлектрик обладает уникальными технологиями синтеза тонких пленок полупроводников и диэлектриков методом PECVD, а также наноструктур по технологии Ленгмюра-Блоджетт для синтеза однородных массивов нанокристаллов, аналитической базой для характеризации систем полупроводник-диэлектрик, полупроводник-металл и мезопористых слоев: спектральную эллипсометрию, ИК спектроскопию, адсорбционную порометрию. Разработанный в лаборатории метод ионно-стимулированного осаждения позволяет получать слои оксидов металлов, применяющиеся в качестве high-k диэлектриков и оптических покрытий.

В составе лаборатории 12 сотрудников, в том числе 5 научных сотрудников, 6 человек инженерно-технического персонала, 2 аспиранта, 1 студент.