Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИМ. А.В. РЖАНОВА
Сибирского отделения Российской академии наук
НОВОСТИ
21.05.10
Научно-технический семинар "Современное аналитическое и производственное оборудование"

25 мая 2010 г. (вторник) в 14 ч. 30 мин. в термостатированном корпусе ИФП СО РАН по адресу ул. Пирогова д.30 компания Technoinfo (Москва) проведет научно-технический семинар "Современное аналитическое и производственное оборудование"

14:30 - 15:50
ПРОИЗВОДСТВЕННОЕ
14:40 - 15:20
Плазмохимическое оборудование Oxford Instruments Plasma Technology и реализуемые на нем процессы
  • плазменные процессы осаждения/травления (PECVD, RIE (РИТ), ICP-RIE (ИСП-РИТ), PE (ПХТ))
  • ионно-лучевое осаждение/травление (IBE, IBS, RIBE, CAIBE/IBS, DIBD)
  • атомно-слоевое осаждение (ALD)
  • магнетронное напыление
  • Гидридная эпитаксия (HVPE)
  • выращивание наноструктур
15:20 - 15:35
Криогенное оборудование ICEoxford
Кузнецов Артём
  • традиционные проточные криостаты и рефрижераторы растворения
  • "безгелиевые" криостаты и рефрижераторы растворения
  • криомагнитные системы
15:35 - 15:50
Высокотемпературные системы Thermal Technology
Кузнецов Артём
  • системы искрового плазменного спекания
  • лабораторные и производственные вакуумные печи и прессы
  • системы выращивания кристаллов

16:00 - 17:20
АНАЛИТИЧЕСКОЕ
16:05 - 16:35
Дифрактометрические системы от Oxford Diffraction
Бредихин Иван
  • монокристальные дифрактометры Xcalibur и Gemini с одним источником лли двумя источниками излчения
  • Новейшие монокристальные дифрактометры SuperNova с микрофокусными источниками
16:35 - 17:20
Методы исследования поверхности
Бредихин Иван
  • Времяпролётная вторично-ионная масспектрометрия (TOF.SIMS)
  • Рассеяние медленных ионов - спектроскопия верхнего атомного слоя на примере прибора Qtac 100 (LEIS)
  • Семейство рентгеновских фотоэлектронных спектрометров AXIS от фирмы KratosAnalitical (XPS, Auger, UPS)
  • Сканирующие электронные микроскопы Nova, Inspect фирмы FEI (SEM, EDX, WDX)
  • Просвечивающие электронные микроскопы Morgani, Tecnai, Titan (TEM)
  • Двулучевые микроскопы Quanta 3D, Helios (FIB)