Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИМ. А.В. РЖАНОВА
Сибирского отделения Российской академии наук
НОВОСТИ
02.05.12
Наноэлектромеханические переключатели

Журнал Nature Nanophotonics опубликовал обзор новых достижений в технологии изготовления наноэлектромеханических переключателей. Такие переключатели могут быть использованы в транзисторах, реле, сенсорах. Преимуществом наноэлектромеханики является её повышенная стойкость к внешним воздействиям, что особенно важно для военных и аэрокосмических применений. В обзоре обсуждаются основные технологические трудности, связанные с воспроизводимостью изготавливаемых элементов. На рисунке изображены схемы различных процессов, используемых при конструировании контактов. И.И.Бетеров