Лаборатория нанодиагностики и нанолитографии

ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Основными направлениями деятельности лаборатории являются:

• Исследование атомных процессов на поверхности и в объеме кристаллов при формировании наноразмерных структур на основе методов in situ.
• Исследование атомного строения наноструктур с помощью высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии с коррекцией сферической аберрации, включая моделирование и расчет электронно-микроскопических изображений.
• Развитие методов наноструктурирования поверхности с помощью электронной, ионной- и зондовой литографии для изготовления твердотельных наносистем из полупроводниковых, металлических и органических материалов.
• Разработка и создание элементов наноэлектроники, наноплазмоники, наномеханики и бионаноплатформ.
• Развитие методов измерения и диагностики наносистем в нанометровом и субнанометровом диапазоне.
• Экспериментальное и теоретическое изучение электронных и оптических свойств наносистем.

В состав лаборатории входит 32 сотрудника, из них: 15 научных сотрудников (3 д.ф.-м.н. и 10 к.ф.-м.н.), в том числе 1 академик и 1 член-корреспондент РАН, 11 человек инженерно-технического персонала и 6 аспирантов.

Проведение исследований базируется на использовании комплекса методов, которые включают электронную нанолитографию, сверхвысоковакуумную отражательную электронную микроскопию (СВВ-ОЭМ), просвечивающую и высокоразрешающую аналитическую электронную микроскопию (ПЭМ, ВРЭМ), а также атомно-силовую микроскопию (АСМ). По многим направлениям, в частности, по применению in situ методов электронной микроскопии высокого разрешения и исследованию атомных процессов на поверхности кремния методами отражательной и атомно-силовой микроскопии, работы коллектива лаборатории находятся на мировом уровне исследований. Исследования проводятся на оборудовании, отвечающем уровню оснащения ведущих мировых научных центров в области структурного анализа и технологии получения наноструктур.