В.Н.Овсюк, В.В.Шашкин, М.А.Демьяненко, Е.И.Черепов, Б.И.Фомин, С.М.Репинский, Л.Л.Васильева, С.П.Супрун

Целью работы является создание неохлаждаемых матричных микроболометрических приемников размерностью 320х320 элементов для малогабаритного тепловизионного прибора индивидуального применения с температурным разрешением 0,05-0,08К тепловых объектов, излучающих в диапазоне длин волн 8≤λ≤14 μm. В настоящее время разработана технология изготовления и исследованы одиночные микроболометры с высокой чувствительностью (2,5·10⁵ В/Вт). Показано, что методами золь-гель техно-логии возможно создание слоев окислов ванадия с требуемым сопротивлением, температурным коэффициентом и малыми фликкер шумами. Изготовлены макеты микроболометрической матрицы с шагом 55 мкм, размерностью 64х64 элемента. На рис. 2 приведены микрофотографии отдельного микроболомет-рического приемника (МБП) и фрагмента матрицы (фрагмент матрицы приведен при различном увеличении).

Рис. 2. Микроболометрическая матрица при различном увеличении: а - сторона квадрата микрофотографии 800 мкм, б - 40 мкм.

Основные параметры конструкции МБП: размер 50х50мкм, ширина несущей нитридной балки МБП - 3мкм, ширина металлической шины, проходящей по несущей балке - 1,5мкм, зазор зеркало - теплочувствительный элемент 2,5 мкм.