|
|
Лаборатория входит в состав отдела, основанного
в 1976 году, который является одним из
крупнейших подразделений Института. В настоящее
время здесь в трех научно-исследовательских
лабораториях работает около 110 сотрудников,
среди которых 14 кандидатов и 5 докторов
физико-математических наук.
Сотрудниками отдела совместно с Опытным
заводом СО РАН и конструкторско-технологическим
институтом прикладной микроэлектроники СО РАН,
разработано и изготавливается малыми сериями
промышленно-ориентированное оборудование
для молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ).
В различных организациях РФ и стран ближнего
зарубежья работают более тридцати комплектов
одно-, двух- и трехкамерных установок типа
"Селенга" (первое поколение), "Ангара" (второе
поколение) и "Катунь" (третье поколение). Эти
разработки были отмечены Государственной
премией России в области науки и техники.
В настоящее время разработана и изготавливается
установка четвертого поколения "Катунь-100"...
|
|
|