2002

Г.Л.Курышев, А.П.Ковчавцев, В.Г.Половинкин
Лаборатория физических основ интегральной микроэлектроники
В.В. Бакин, А.А. Пахневич, С.Н.Косолобов, Г.Э.Шайблер, А.C.Ярошевич, А.С.Терехов
Лаборатория неравновесных процессов в полупроводниках.
В.Н.Овсюк, В.В.Шашкин, М.А.Демьяненко, Е.И.Черепов, Б.И.Фомин, С.М.Репинский, Л.Л.Васильева, С.П.Супрун
Лаборатория кинетических явлений в полупроводниках,
Лаборатория технологии кремниевой микроэлектроники,
Лаборатория физики и технологии гетероструктур,
Лаборатория физической химии поверхности полупроводников и систем полупроводник-диэлектрик
В.В.Васильев, В.Н.Овсюк, А.О.Сусляков, Т.И.Захарьяш, В.С.Варавин, С.А.Дворецкий, Н.Н.Михайлов, Ю.Г.Сидоров
Лаборатория физико-технологических основ создания приборов на основе полупроводников А2В6
Л.И.Магарилл, М.В.Энтин
Лаборатория теоретической физики
З.Д.Квон, Т.И.Батурина
Лаборатория физики и технологии структур на основе полупроводников А3В5
В.А.Ткаченко, З.Д.Квон, О.А.Ткаченко, Д.Г.Бакшеев
Лаборатория физики и технологии структур на основе полупроводников А3В5
А.И.Якимов, А.В.Двуреченский, А.И.Никифоров, С.В.Чайковский
Лаборатория неравновесных полупроводниковых систем,
Лаборатория молекулярно-лучевой эпитаксии элементарных полупроводников и соединений А3В5
С.И.Романов, В.В.Кириенко, В.А.Армбристер
Лаборатория неравновесных полупроводниковых систем
Д.В.Щеглов, Д.А.Насимов, С.С.Косолобов, А.В.Латышев, А.М.Медведев, Н.С.Рудая
Лаборатория электронной микроскопии и субмикронных структур
Т.С.Шамирзаев, А.М.Гилинский, А.И.Торопов, А.К.Бакаров, Д.А.Тэннэ, К.С.Журавлев C. von Borczyskowski, D.R.T.Zahn*
Сектор люминесцентного анализа полупроводниковых материалов и структур
* Institut fur Physik, Chemnitz, Germany
Ю.Г.Сидоров, М.В.Якушев, Д.Н.Придачин, И.В.Сабинина, Л.В.Миронова, А.К.Гутаковский, В.А.Швец, А.В.Латышев, В.В.Васильев, В.С.Варавин
Лаборатория технологии эпитаксии из молекулярных пучков соединений А3В5 и А2В6
О.П.Пчеляков, А.И.Никифоров, С.А.Тийс, В.В.Ульянов
Лаборатория молекулярно-лучевой эпитаксии элементарных полупроводников и соединений А3В5
В.П.Попов, А.А.Французов, Н.В.Сапожникова, Б.И.Фомин, О.В.Наумова, И.В.Антонова, А.И.Попов, А.Х.Антоненко, Н.В.Дудченко, Э.Д.Жанаев
Лаборатория физических основ материаловедения кремния,
Лаборатория технологии кремниевой микроэлектроники
В.Н.Ищенко, Е.Б.Хворостов, С.А.Кочубей, Н.Н.Рубцова, И.В.Евсеев
Лаборатория лазерной спектроскопии и лазерных технологий
В.М.Энтин, И.И.Рябцев
Лаборатория нелинейных резонансных процессов и лазерной диагностики
П.А.Бохан, Д.Э.Закревский
Лаборатория мощных газовых лазеров
В.Г.Хорошевский, М.Н.Подаков
Лаборатория разработки принципов построения и архитектуры вычислительных систем для обработки информационных массивов