Состав отделения:

 Насимов Родякина Уткин Шалыгина Голобокова

  • Руководитель - н.с., Насимов Д.А., к.108, т.(383)3309082 Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
  • н.с., к.ф.-м.н. Родякина Е.Е.
  • инженер Уткин Д.Е.
  • инж.-техн. Шалыгина Н.А.
  • аспирант Голобокова Л.С.

Основное направление активности - наноструктурирование на поверхности металлов, полупроводников и диэлектриков методом электронно лучевой литографии.


Отделение предоставляет следующие услуги:

  • Cоздание структур пониженной размерности для наноэлектроники и наномеханики на основе комплекса литографических методов включающих электронную, ионно-лучевую и зондовую литографию.

Для проведения экспериментов в отделении разработаны и внедрены следующие методики:

  • Методика проведения литографии, включая изготовление фотошаблонов, субмикронного диапазона с использованием электронно-лучевой литографии.
  • Методика наноструктурирования, основанная на электронной литографии сфокусированным электронным пучком на базе сканирующего электронного микроскопа.

Услуги предоставляются отделением с использованием следующего оборудования: