Состав отделения:

Сандырев Грачёв Качанова Живодкова Шевченко

  • Руководитель - вед. инж.-технолог В.К. Сандырев, к.351, т.(383)3307886, Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.
  • вед. инж.-прогр. К.В. Грачёв
  • инж.-технолог М.М. Качанова
  • инж.-технолог Т.А. Живодкова
  • инж.-технолог Г.Н. Шевченко

Основное направление активности - создание топологических структур размером более 0,6 мкм на полупроводниковых пластинах и изготовления промежуточных шаблонов при производстве изделий электронной техники методом растровой оптической литографии.


Отделение предоставляет следующие услуги:

  • Оптическая литография для непосредственного формирования топологических структур на полупроводниковых пластинах и изготовления промежуточных шаблонов при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.

Для проведения экспериментов в отделении разработаны и внедрены следующие методики:

  • Методика проведения растровой оптической литографии.
  • Методика нанесения фоторезиста на различные полупроводниковые пластины.
  • Методика последовательного совмещения слоев фотошаблонов после проявли резиста, травления пластины и нанесения металлов.
  • Методика взрывного нанесения металла через маску в резисте.

Услуги предоставляются отделением с использованием следующего оборудования: