Приборный парк ЦКП "Наноструктуры" основан на оборудовании, разработанном и изготовленном фирмами, являющимися признанными мировыми лидерами в области вакуумного приборостроения, имеет 100% сертификацию на соответствие. Общее количество помещений ЦКП – 19, общая площадь ~610 м2. Прецизионное оборудование установлено в специальных "чистых комнатах" (10 комнат) термостатированного корпуса ИФП СО РАН, удовлетворяющие требованиям ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025-2000 "Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий", нормативным требованиям для проведения аналитических работ, включая требования ведущих зарубежных фирм, поставляющих аналитическое оборудование. Данные комнаты оснащены системой принудительного воздушного кондиционирования с кратностью воздухообмена 10, системой вакуумных магистралей, газовых трубопроводов (азот, аргон, гелий и воздух), централизованной подачей дистиллированной воды и высокостабилизированного электроснабжения, а также системами высокоэффективной химической вытяжки для работы с вредными химикатами. Кроме того, ЦКП имеет доступ к информационным базам данных через телекоммуникационные сети.

Перечень оборудования Приборного парка ЦКП
Аналитический высокоразрешающий электронный микроскоп с корректором аберраций объектива и приставками EDX и EELS
Микроскоп электронный растровый с литографической приставкой
Микроскоп электронный сканирующий
Установка фокусированных ионных пучков CROSS BEAM
Сканирующая зондовая нанолаборатория
Вакуумная установка для напыления проводящих и диэлектрических слоев
Многофункциональный комплекс плазмохимической обработки для создания сложных структур и устройств на их основе
Оптический микроскоп
Модернизированный микроинтерферометр измерительный
Комплекс пробоподготовки для микроскопии
Сверхвысоковакуумный туннельный сканирующий микроскоп
Высокоразрешающий электронный микроскоп
Комплекс сверхвысоковакуумной отражательной электронной микроскопии -  Уникальная научная установка - Многофункциональный аналитический субангстремный сверхвысоковакуумный комплекс "МАССК-ИФП" .
Сверхвысоковакуумная установка Compact-21T
Сканирующий электронный микроскоп HITACHI SU8220
Генератор изображения лазерный многоканальный ЭМ-5189-01
Лазерный комплекс для компарирования размеров в микрометровом и нанометровом диапазонах
Система ионно-лучевой обработки IM150, Oxford Applied Research, UK
Оптический прямой микроскоп Olympus BX35