Для проведения точных и надежных измерений на пластине полупроводника, возможных только при осуществлении качественного, стабильного и надежного контакта, не разрушающего ИУ, используется ручная зондовая станция Cascade M150, специально спроектированная для исключения внешних воздействий, собственных шумов и сохранения «чистоты» эксперимента. Используется для качественного тестирования полупроводниковых приборов по постоянному току, а также в ВЧ и СВЧ диапазоне. Для измерений по постоянному току используется параметрический анализатор Agilent B1500A. Этот модульный прибор под управлением удобной графической среды Agilent EasyExpert становится мощным центром для проведения измерений вольт-амперных (ВАХ) и вольт-фарадных (ВФХ) характеристик в непрерывном или импульсном режиме, управления матрицами коммутации и полуавтоматическими зондовыми станциями.

1. Марка — Cascade M150/Agilent B1500A.
2. Производитель/страна — Cascade Microtech, США / Agilent Technologies, США.
3. Технические характеристики —
   • Ручная зондовая станция Cascade M150:
     • Четыре измерительных зонда.
     • Измерение пластин размером до 150 мм.
     • Оптический микроскоп.
     • Столик с вакуумным держателем.
   • Параметрический анализатор Agilent B1500A:
     • Основные возможности:
       • Прибор на базе ПК с операционной системой Windows и программным обеспечением EasyEXPERT.
       • Одноприборное решение для измерения вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик, генерации импульсов и измерений во временной области.
       • Десять гнезд для установки модулей источников питания/измерителей и модулей другого типа (модуль многочастотного измерителя емкости MFCMU, высоковольтного полупроводникового импульсного генератора HV-SPGU и генератора сигналов и быстродействующего измерителя WGFMU).
       • Автономный анализ данных и разработка тестов с помощью программного обеспечения Desktop EasyEXPERT.
     • Измерительные возможности:
       • Измерение вольт-амперных характеристик с разрешением 0,1 фA/0,5 мкВ.
       • Измерение квазистатической вольт-фарадной (CV) характеристики и CV-характеристики в среднем диапазоне частот.
       • Быстрое и точное измерение вольт-амперных характеристик и измерения во временной области для широкого спектра прикладных задач, включая измерение импульсных вольт-амперных характеристик, нестабильности порогового напряжения при отрицательном смещении (NBTI) и шума RTS.
       • Генерирование высоковольтных импульсов (до ±40 В) для тестирования силовых устройств и ячеек памяти.
4. Местонахождение в ЦКП — Отделение электрофизических измерений, к. 107.
5. Год модернизации — 2011.
6. Балансовая стоимость — 392 тыс. руб.
7. Нормативная стоимость часа работы с учетом амортизации — 360 руб.
8. Нормативное (среднее) количество обработанных образцов в час — 0.3.
9. Предоставляемые услуги —
   • Проведение электрофизических измерений низкоразмерных полупроводниковых микросистем на основе 4-контактной измерительной станции.
10. Используемые методики —
    • Методика прецизионного измерения вольт-амперных и волт-фарадных характеристик на базе четырёхзондовой станции и параметрического анализатора.
    • Методика тестирования силовых устройств и ячеек памяти с помощью генерирования высоковольтных импульсов.